測量過程中的測頭預行程誤差分析

非球麵光學（xué）零件憑借在光學係統中（zhōng）的作用：有效校正係統像差，擴大係統（tǒng）視覺角度，減輕係統整（zhěng）體質量縮小（xiǎo）係統體積等，正（zhèng）被廣泛應用於各（gè）類型的高精尖科技生產加工領域。非球麵麵型（xíng）檢測技術不可避免的成為加工工藝的一部分，且相當重要，所以如何能夠準確快速高效地檢測出非球麵零件的（de）麵型信息至關重要。光學測量方法眾多且測量精度可以達到納米級（jí）別，但是這種光學測量又會可能收到空氣介質和灰塵的影響，對於待（dài）測零件的表麵精度（dù）要（yào）求比較高，設備（bèi）成本也很高。一般應用在精密拋光階段對最終成型的零部（bù）件進行測量。

接觸式測（cè）量具有更高的適用性，性價比高，精確度也高，雖然也存（cún）在誤差如接觸變形誤差（chà）和零件表麵劃傷風險，但是在實際（jì）加工過程（chéng）中，還是接觸（chù）型測量更加有用，可靠，有實用性，主要應用於零件的精磨階段。

針對測量過程中觸發式測頭（tóu）預行程（chéng）誤差進行分析，通過對測杆彎曲變形（xíng）和測（cè）球變形的受力分（fèn）析，建立預行（háng）程（chéng）誤差模（mó）型，在進（jìn）行深（shēn）入分析，通過對接觸力的理論（lùn）推理，精確計（jì）算出預行程誤差值，由此可以深入研（yán）究預行程誤差補償方法。

在實（shí）際測量（liàng）的過程中，由於測頭自身機械響應的滯（zhì）後，接觸（chù）到被測零（líng）件表麵（miàn）時並不會立即發出觸發信號，所以（yǐ）從測頭接觸到被測零件表麵到被觸發這一過程，就是叫（jiào）做測頭預（yù）行程誤（wù）差。而影響這種誤差的因素又眾多，如測（cè）杆彎曲（qǔ）位移導致誤差，測（cè）球接觸位移誤差等等，所以在做預行程誤差分析時，要（yào）特別注意的是，為了精確計算測頭預（yù）行程誤（wù）差，針對不同誤差原因（yīn）因素，分別進行數學建（jiàn）模，對誤差進行定量分析（xī）。